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曹振

作品数：13 被引量：24H指数：3
供职机构：北京理工大学更多>>
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相关领域：电子电信机械工程更多>>

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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：北京理工大学
研究主题：投影光刻物镜 数值孔径 投影物镜 光学设计 光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘菲
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外光刻 紫外光刻 投影物镜 光阑 设计方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙圆圆
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：光刻物镜 公差分析 极紫外光刻 极紫外 大数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晓林
供职机构：北京理工大学
研究主题：光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘菲
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：极紫外光刻 投影物镜 大数值孔径 EUVL 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周恩源
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：大数值孔径 飞秒激光 光学设计 显微物镜 物镜设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丽辉
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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