2024年11月8日
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朱宇清
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天津理工大学
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合作作者
李福龙
天津理工大学电子信息工程学院天...
陈希明
天津理工大学电子信息工程学院天...
阴聚乾
天津理工大学
张倩
天津理工大学
郭燕
天津理工大学
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李福龙
供职机构:天津理工大学
研究主题:机电耦合系数 声表面波器件 表面粗糙度 ALN薄膜 压电薄膜
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陈希明
供职机构:天津理工大学
研究主题:声表面波器件 多层膜结构 金刚石 金刚石膜 机电耦合系数
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张倩
供职机构:天津理工大学
研究主题:声表面波器件 机电耦合系数 CIM ALN薄膜 压电薄膜
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孙连婕
供职机构:天津理工大学
研究主题:压电薄膜 机电耦合系数 声表面波器件 原子力显微镜 声速
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郭燕
供职机构:天津理工大学
研究主题:机电耦合系数 声表面波器件 压电薄膜 传播损耗 薄膜厚度
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阴聚乾
供职机构:天津理工大学
研究主题:声表面波器件 机电耦合系数 压电薄膜 ZNO 传播损耗
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杨保和
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石 金刚石膜 声表面波器件 声表面波 金刚石薄膜
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王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
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薛玉明
供职机构:天津理工大学
研究主题:铜铟镓硒 苏打 复合衬底 太阳电池 薄膜太阳电池
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尹立国
供职机构:天津理工大学
研究主题:集成电路工艺 抛光速率 氧化铈 氧化钒薄膜 氧化钒
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