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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭晶晶
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈韬
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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