2024年11月9日
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复旦大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈韬
复旦大学
谢琦
复旦大学
屈新萍
复旦大学
谭晶晶
复旦大学
茹国平
复旦大学
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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谭晶晶
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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陈韬
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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