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张伟

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供职机构：上海集成电路研发中心更多>>

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地区

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严利人
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 激光退火 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾绍海
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铭
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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