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高浩

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 7个自动化与计算...
  • 4个金属学及工艺
  • 4个文化科学
  • 3个电子电信
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术

主题

  • 8个密封
  • 8个硅片
  • 7个支撑脚
  • 7个晶圆
  • 7个机械手
  • 6个旋转轴
  • 6个占地面积
  • 6个气动
  • 6个清洗工艺
  • 6个自动化
  • 6个夹紧
  • 5个导轨
  • 5个底面
  • 5个端面
  • 5个竖直
  • 5个通孔
  • 5个清洗机
  • 5个螺母
  • 5个门板
  • 4个铜互连

机构

  • 9个北京七星华创...

地区

  • 9个北京市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙文婷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 半导体工艺设备 浮尘 风机机组 监测系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王营营
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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