2024年11月8日
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郭联峰
作品数:
5
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H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技支撑计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李铁
微系统技术国家实验室上海200...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
周宏
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘延祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
梁晨
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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梁晨
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 硫掺杂 衬底 半导体工艺 惰性气体
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周宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
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王翊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
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刘延祥
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
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段国韬
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:空心球 修饰 金膜 纳米片 离子溅射
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