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周宏
作品数:
28
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
王翊
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘延祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
郭联峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
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一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器
本申请提供一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器,该红外光源的制备方法包括以下步骤:制备加热器,加热器包括硅衬底、支撑膜和加热电阻层,支撑膜和加热电阻层依次沉积在硅衬底上;绝缘层沉积在加热电阻层上;制备辐射波长控制结...
李铁
刘延祥
王翊
周宏
王跃林
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一种横式微型红外气体传感器
本申请提供一种横式微型红外气体传感器,包括:微型光学气室、红外光源、红外探测器、电源芯片和ASIC芯片和第一电路板;微型光学气室的光路为横式折叠反射结构,光路与第一电路板平行设置;微型光学气室包括光输入端和光输出端;红外...
李铁
刘延祥
王翊
周宏
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基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法
本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法,其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成;其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽;热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构;热堆...
李铁
王翊
周宏
王跃林
林心如
奚庆中
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一种三维红外光源的制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法,提供一硅片;在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜;在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止;沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列;去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁
郭联峰
刘延祥
王翊
周宏
王跃林
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微机械推拉式可调谐光栅
本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅,其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器,其中,光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体,再通过光栅支撑梁与推驱动...
李铁
明安杰
周萍
刘延祥
周宏
王翊
王跃林
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一种红外探测器及红外气体传感器
本发明涉及红外探测领域,特别涉及一种红外探测器及红外气体传感器,包括:滤波结构,用于红外光滤波,使至少一个预设波长的红外光通过所述滤波结构;探测芯片,用于将所述至少一个预设波长的红外光转化为电信号;其中,所述滤波结构为超...
李铁
刘延祥
王翊
周宏
王跃林
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一种红外气体传感器
本申请提供一种红外气体传感器,包括探测器,探测器包括多个传感单元,传感单元包括传感芯片和滤波元件;传感单元按功能分为第一类传感单元和第二类传感单元;第一类传感单元为检测单元,第二类传感单元为补偿单元;检测单元的数量为多个...
李铁
刘延祥
王翊
周宏
王跃林
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一种三维红外光源及其制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法,提供一硅片;在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜;在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止;沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列;去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁
郭联峰
刘延祥
王翊
周宏
王跃林
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一种双光程多气体红外气体传感器
本发明涉及一种双光程多气体红外气体传感器,主要包括双光程多气体检测腔、红外光源10、多元探测器2、防水透气膜3、信号放大模块15、模数转换模块16、信号处理模块17、通讯显示模块18。所述双光程多气体检测腔包括环形腔14...
李铁
刘延祥
周宏
王跃林
热电堆型高温热流传感器及其制备方法
本发明提供一种热电堆型高温热流传感器及其制备方法,热电堆型高温热流传感器包括:衬底,衬底内形成有隔热腔体;复合介质膜,位于衬底的上表面且覆盖隔热腔体的上表面;电阻块,位于复合介质膜的上表面,且位于衬底的正上方及隔热腔体的...
李铁
王翊
周宏
田伟
王跃林
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