2024年11月8日
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裴舒
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
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合作作者
马月英
中国科学院长春光学精密机械研究...
曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究...
吕俊霞
同济大学
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
曹健林
中国科学院长春光学精密机械与物...
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马月英
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:多层膜 软X射线 软X射线多层膜 光学元件 磁控溅射
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研究领域
曹健林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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吕俊霞
供职机构:同济大学
研究主题:软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
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研究领域
曹健林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
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高宏刚
供职机构:中国科学院
研究主题:抛光 超光滑表面 超精密加工 软X射线 多层膜
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陈星旦
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:近红外光谱 近红外光谱分析 软X射线 多层膜 偏最小二乘法
发表作品
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梁静秋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 光子晶体
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研究领域
王波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:微显示器件 傅里叶变换光谱仪 空间调制 航空遥感图像 光输出
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研究领域
林强
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:EUVL 极紫外投影光刻 磁控溅射 均匀性 离轴照明
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所获资助
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