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步扬

作品数：157 被引量：266H指数：10
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李中梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静浩
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡燕民
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 照明系统 光学系统 像差 场曲
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤飞龙
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 斯托克斯参量 光场 全光 信号处理系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹绍谦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：斯托克斯参量 偏振 光场 全光 偏振态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
南楠
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：医用光学 正弦相位调制 色散补偿 频域 光学相干层析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范李立
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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