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蔡燕民

作品数：55 被引量：155H指数：8
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目上海市科学技术委员会资助项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 34篇专利
  • 14篇期刊文章
  • 6篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 16篇电子电信
  • 9篇机械工程
  • 8篇理学
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 19篇光学
  • 16篇光刻
  • 15篇照明
  • 14篇光刻机
  • 12篇偏振
  • 11篇照明系统
  • 11篇光学系统
  • 10篇像差
  • 9篇通信
  • 8篇象散
  • 8篇场曲
  • 7篇视场
  • 7篇偏振态
  • 7篇光焦度
  • 6篇透镜
  • 6篇光阑
  • 6篇复用
  • 6篇波分
  • 6篇波分复用
  • 6篇大视场

机构

  • 55篇中国科学院上...
  • 1篇长春光学精密...
  • 1篇上海大学
  • 1篇上海市计量测...

作者

  • 55篇蔡燕民
  • 40篇王向朝
  • 21篇黄惠杰
  • 15篇步扬
  • 13篇方祖捷
  • 11篇陈高庭
  • 10篇唐锋
  • 6篇赵岭
  • 6篇司徒国海
  • 5篇陈刚
  • 4篇李中梁
  • 3篇董作人
  • 2篇张位在
  • 2篇戴凤钊
  • 2篇张友宝
  • 2篇周赢武
  • 1篇白闻喜
  • 1篇夏江珍
  • 1篇李琳
  • 1篇王昕歌

传媒

  • 6篇中国激光
  • 3篇激光与光电子...
  • 2篇光电子．激光
  • 2篇全国光电技术...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇光学技术
  • 1篇光学学报
  • 1篇全国第十次光...
  • 1篇第十六届全国...
  • 1篇全国第十次光...

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2021
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 7篇2016
  • 8篇2015
  • 16篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2003
  • 5篇2002
  • 3篇2001
  • 6篇2000
共 55 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置
一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。光刻机照明系统的偏振光束入射到反射镜上，被反射到与照明系统光轴垂直的方...
蔡燕民李中梁步扬王向朝黄惠杰
文献传递
用于DWDM系统的双折射型Interleaver原理分析被引量：19
2001年
介绍了交叉复用器 (Interleaver)在密集波分复用 (DWDM)光纤通信系统中的作用 ,利用各向异性晶体的双折射和偏振光的干涉分析了双折射型Interleaver器件的原理 。
蔡燕民王昕歌赵岭方祖捷陈高庭王向朝
关键词：密集波分复用双折射光纤通信
空间激光通信技术若干问题的讨论被引量：26
2000年
文中讨论了卫星间和星地间激光通信技术方案的若干问题。从背景噪声、体积、质量、器件性能和可行性角度 ,比较分析了激光波段的选择。 80 0和 1550nm波段的半导体激光器具有体积小、质量轻、效率高的优点。与可见波段相比 ,背景噪声低。提出了一个利用光纤通信技术和器件总体方案的建议。采用由半导体激光器振荡器和EDFA光放大器构成的MOPA结构作为通信发射机的光源 ;采用光纤环行器和光纤耦合器实现发收光路的复用 ;采用窄线宽光纤光栅提高接收机的信噪比 ,与原子线滤波器相比具有波段选择范围宽等好处。
陈刚蔡燕民陈高庭王向朝方祖捷
关键词：激光技术空间通信光纤通信激光通信
筒长无限的显微物镜光学系统
一种筒长无限的显微物镜光学系统，是一种折反射式光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是...
蔡燕民王向朝黄惠杰
文献传递
用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统
一种用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、…、直到第十八透镜，其中第一透镜至第四透镜组成第一镜组G1，其组合焦距为200mm，第五透镜至第十八透镜组成第二镜组G2，其组...
蔡燕民王向朝张友宝步扬唐锋黄惠杰
文献传递
投影光学系统
一种投影光学系统，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第三透镜、孔径光阑、第四透镜至第六透镜。该投影光学系统采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判据的要求；采...
蔡燕民王向朝唐锋
文献传递
光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果
<正>偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提供依据。该偏...
蔡燕民步扬王向朝
文献传递
对称式中继光学系统
一种对称式中继光学系统，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第三透镜、孔径光阑、第四透镜至第六透镜。该对称式中继光学系统采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判...
蔡燕民王向朝唐锋
文献传递
用于193nm波长的由两种材料构成的沃拉斯顿棱镜
一种用于193nm波长的由两种材料构成的沃拉斯顿棱镜，由光轴方向相互垂直的两块直角三棱镜制作，两块直角三棱镜的切割角相同，两块直角三棱镜通过斜边直接光学接触，特点在于第一块直角三棱镜选用石英晶体，第二块直角三棱镜选用氟化...
蔡燕民王向朝黄惠杰
文献传递
施瓦茨光学系统波像差测量方法
一种施瓦茨光学系统波像差测量方法，该方法基于光栅横向剪切干涉测量装置，测量时将待测施瓦茨光学系统置于所述光栅横向剪切干涉测量装置的针孔掩模和剪切光栅之间，测量步骤如下：①获取x方向和y方向的横向剪切干涉图；②获取x方向和...
戴凤钊王向朝蔡燕民
文献传递
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