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刘晓林

作品数：15 被引量：17H指数：2
供职机构：北京理工大学更多>>
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>

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李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡大伟
供职机构：北京理工大学
研究主题：投影光刻物镜 场曲 光刻系统 光刻分辨率 相对孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹振
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外 投影光刻物镜 放大倍率 反射镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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