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路敦武

作品数：48 被引量：122H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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共 31 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜龙龙
供职机构：湖州职业技术学院
研究主题：敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程兆谷
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈蓓军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王润文
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨良民
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘增水
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光强分布 ICF 性能分析 机械加工工艺 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩广礼
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：在线检测装置 分光镜 计算机组成 激光照明 平行光管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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