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沈蓓军

作品数：15 被引量：14H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 5篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 7篇微机械
  • 7篇激光
  • 7篇光刻
  • 5篇微细
  • 5篇微细加工
  • 3篇电路
  • 3篇准分子
  • 3篇准分子激光
  • 3篇集成电路
  • 2篇针尖
  • 2篇紫外激光
  • 2篇自动补偿
  • 2篇线宽
  • 2篇线条
  • 2篇消融
  • 2篇机械元件
  • 2篇激光光刻
  • 2篇激光器
  • 2篇激光微细加工
  • 2篇分子

机构

  • 15篇中国科学院上...
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 15篇沈蓓军
  • 12篇路敦武
  • 7篇王润文
  • 6篇黄惠杰
  • 3篇何伟
  • 3篇邹海兴
  • 3篇丁生华
  • 3篇杨良民
  • 1篇姚劲松
  • 1篇梁静秋
  • 1篇林礼煌
  • 1篇刘增水
  • 1篇欧阳斌
  • 1篇王立鼎
  • 1篇杜龙龙
  • 1篇王德林

传媒

  • 4篇光学精密工程
  • 3篇功能材料与器...
  • 2篇中国仪器仪表...

年份

  • 5篇1999
  • 4篇1998
  • 1篇1997
  • 2篇1996
  • 2篇1995
  • 1篇1994
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用被引量：3
1998年
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺的深层光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。
沈蓓军王润文路敦武黄惠杰
关键词：微机械微细加工光刻
微机械构件组装技术研究被引量：3
1995年
从取放微机械构件的方式，对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究，并用所设计的组装装置进行了组装实验，得到了满意的结果。
路敦武沈蓓军王德林何伟黄丽菊
关键词：微机械
用吸附针尖组装微小构件的装置
本实用新型是一种用吸附针尖组装微小构件的装置。主要适用于组装微型马达，微型压力传感器，或者微型机器人等微小构件。该装置由显微镜、摄象机和监示器来观察工作台上待装微小构件的位置，由安装在多维调正机构上的机械手里的与真空气动...
路敦武沈蓓军何伟
文献传递
线条倾斜测量误差自动补偿方法
本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向...
沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
文献传递
组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究被引量：3
1997年
建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置，研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺，对得到的结果进行了分析和讨论。
路敦武黄惠杰沈蓓军杨良民刘增水何伟
关键词：微机械机械加工工艺
远紫外激光光刻装置
一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均置于防震台上，尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发光源，中部是倍频结构的波长转换构件，头部是光刻结构的光刻组件。它主要适用于深层微形结构，微电子以及微小元件的微细加工。具有性...
沈蓓军王润文林礼煌欧阳斌路敦武
文献传递
激光LIGA工艺实验设计
1996年
文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。
沈蓓军王润文路敦武黄惠杰
关键词：LIGA光刻准分子激光
激光LIGA及其在微机械元器件的应用分析研究
该研究论文主要对微电子机械系统的制作工艺-激光LIGA工艺(LIGA工艺技术源自德国,名词LIGA是德文光刻、电铸、模铸的打头字母的组合)以及微电子机械系统的动力学特性研究进行了阐述.文章从激光LIGA光刻实验装置的研制...
沈蓓军
关键词：微机械激光微细加工光刻
可变倍率的激光光刻投影物镜
本实用新型是一种用激光器或远紫外激光器作为光源的可变倍率的激光光刻投影物镜。它由两组透镜之间以镜管活动连接所构成。其中一组是含有N<Sub>1</Sub>(≥1)个光学透镜构成具有缩比倍率M<Sub>1</Sub>的高倍...
沈蓓军黄惠杰王润文路敦武
文献传递
激光LIGA工艺制作微机械元件
介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻的实验装置以及实验过程分别作了详细的论述或介绍...
沈蓓军王润文路郭武黄惠杰杜龙龙
关键词：微机械元件激光光刻激光微细加工激光消融
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共2页<12>
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