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汪明刚

作品数：57 被引量：20H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 23个电子电信
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  • 16个理学
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  • 12个电气工程
  • 11个机械工程
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  • 1个水利工程
  • 1个核科学技术
  • 1个自然科学总论

主题

  • 26个刻蚀
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  • 18个等离子
  • 18个纳米
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  • 17个原子层沉积
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  • 14个等离子体浸没...
  • 14个电极
  • 13个单晶
  • 13个等离子体刻蚀
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  • 11个淀积
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  • 9个电场
  • 9个多晶

机构

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  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 21个国家自然科学...
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传媒

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  • 4个核聚变与等离...

地区

  • 26个北京市
  • 2个云南省
共 29 条 记 录，以下是 1-10
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈瑶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 注入机 特性参数 离子 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 衍射效率 菲涅耳波带片 注入机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 离子 探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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