2024年11月15日
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刘丽霞
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供职机构:
广东工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘海勇
广东工业大学
周金运
广东工业大学
雷亮
广东工业大学
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周金运
供职机构:广东工业大学
研究主题:光刻 光学设计 光刻系统 投影光刻 焦深
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刘海勇
供职机构:广东工业大学
研究主题:数字光刻 光学系统 光学设计 平面反射镜 中继系统
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雷亮
供职机构:广东工业大学
研究主题:飞秒脉冲 光刻 图像 投影光刻 工业相机
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