刘海勇
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 与DMD相匹配的数字光刻光学系统设计研究
- 数字光刻技术能影响到大面积印制电路板、TFT-LCD、微光学元器件、太阳能电板等高科技产业的产品质量和成本，最终影响到产品商业竞争的成败，将成为这些产业可持续发展的支柱，因此数字光刻系统的研究和搭建显得非常重要和迫在眉睫...
- 刘海勇
- 关键词：数字光刻投影物镜光学设计均匀性
- 一种大面积数字光刻光学系统
- 本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字微反射镜拼接中继系统包括数字微反射镜、三...
- 刘海勇周金运刘丽霞雷亮
- 文献传递
- 一种大面积数字光刻光学系统
- 本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字微反射镜拼接中继系统包括数字微反射镜、三...
- 刘海勇周金运刘丽霞雷亮
- 文献传递
- 数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
- 2013年
- 针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
- 刘海勇周金运雷亮刘丽霞刘志涛郭华
- 关键词：数字光刻光学设计
