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姜国庆
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
郁元卫
中国电子科技集团公司第五十五研...
孙俊峰
中国电子科技集团公司第五十五研...
王守旭
中国电子科技集团公司第五十五研...
姜理利
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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所获资助
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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所获资助
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孙俊峰
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:传输线 操作工艺 步进式 MEMS开关 氧
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相关人物
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所获资助
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王守旭
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 微推进器 推进剂 大电流 传输线
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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姜理利
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:悬臂梁 共面波导结构 空气桥 微波信号 电路拓扑结构
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侯芳
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:芯片 键合工艺 圆片级 滤波器组 滤波器
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朱锋
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 键合工艺 互连 芯片 微波泄漏
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