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孙俊峰
作品数:
10
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
郁元卫
中国电子科技集团公司第五十五研...
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
贾世星
中国电子科技集团公司第五十五研...
王守旭
中国电子科技集团公司第五十五研...
姜理利
中国电子科技集团公司第五十五研...
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中国电子科技...
作者
10篇
孙俊峰
8篇
郁元卫
6篇
贾世星
6篇
朱健
2篇
姜国庆
2篇
李晓鹏
2篇
姜理利
2篇
王守旭
年份
2篇
2021
1篇
2020
2篇
2019
1篇
2018
1篇
2017
1篇
2016
2篇
2015
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一种MEMS步进式数字衰减器
本发明公开了一种MEMS步进式数字衰减器,包括传输线和n个级联的可变衰减单元,n≥1;可变衰减单元包括电阻衰减网络、上MEMS开关和下MEMS开关,且上MEMS开关和下MEMS开关关于电阻衰减网络上下对称。本发明采用ME...
孙俊峰
姜理利
朱健
郁元卫
贾世星
焦宗磊
姜国庆
文献传递
一种MEMS微带环形器及其制备方法
本发明提供了一种MEMS微带环形器及其制备方法,包括:铁镍合金层;微带层,设置于所述铁镍合金层上;下硅层,设置于所述微带层远离所述铁镍合金层的一面上;铁氧体层,贯穿所述下硅层以及所述微带层,向下延伸至所述铁镍合金层上;传...
陶子文
孙俊峰
钱可强
贾世星
王守旭
郁元卫
文献传递
减小电镀层图形失真的方法
本发明公开了一种减小电镀层图形失真的方法,应用于对图形尺寸精度要求高的微电子、微机电系统(MEMS)等领域。本发明通过增加辅助图形,巧妙地利用电镀材料间的相互应力反向抵消,大大改善了电镀层图形失真的问题。该方法适合任何性...
孙俊峰
朱健
禹淼
文献传递
一种MEMS微带环形器及其制备方法
本发明提供了一种MEMS微带环形器及其制备方法,包括:铁镍合金层;微带层,设置于所述铁镍合金层上;下硅层,设置于所述微带层远离所述铁镍合金层的一面上;铁氧体层,贯穿所述下硅层以及所述微带层,向下延伸至所述铁镍合金层上;传...
陶子文
孙俊峰
钱可强
贾世星
王守旭
郁元卫
文献传递
减小电镀层图形失真的方法
本发明公开了一种减小电镀层图形失真的方法,应用于对图形尺寸精度要求高的微电子、微机电系统(MEMS)等领域。本发明通过增加辅助图形,巧妙地利用电镀材料间的相互应力反向抵消,大大改善了电镀层图形失真的问题。该方法适合任何性...
孙俊峰
朱健
禹淼
一种抑制腔内环行器发生带内谐振的结构
本发明涉及一种抑制腔内环行器带内谐振的结构,包括环行器、金属腔体、导电材料和金属腔体盖板,环行器底部磁性金属材料固定在金属腔体底部上;导电材料通过导电胶粘接在金属腔体盖板内侧或金属腔体侧壁,导电材料厚度大于金属腔体盖板与...
孙俊峰
陶子文
郁元卫
贾世星
吴炎
文献传递
一种抑制腔内环行器发生带内谐振的结构
本发明涉及一种抑制腔内环行器带内谐振的结构,包括环行器、金属腔体、导电材料和金属腔体盖板,环行器底部磁性金属材料固定在金属腔体底部上;导电材料通过导电胶粘接在金属腔体盖板内侧或金属腔体侧壁,导电材料厚度大于金属腔体盖板与...
孙俊峰
陶子文
郁元卫
贾世星
吴炎
文献传递
MEMS开关用高升压倍数电荷泵电路及其制造方法
本发明是MEMS开关用高升压倍数电荷泵电路,其结构是第二Trench结构的版图、第三Trench结构的版图分别包围第一Trench结构的版图,SOI晶片从上到下为顶层硅,二氧化硅层,高阻载片;在SOI晶片的顶层硅上进行T...
孙俊峰
朱健
郁元卫
李晓鹏
文献传递
一种MEMS步进式数字衰减器
本发明公开了一种MEMS步进式数字衰减器,包括传输线和n个级联的可变衰减单元,n≥1;可变衰减单元包括电阻衰减网络、上MEMS开关和下MEMS开关,且上MEMS开关和下MEMS开关关于电阻衰减网络上下对称。本发明采用ME...
孙俊峰
姜理利
朱健
郁元卫
贾世星
焦宗磊
姜国庆
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MEMS开关用高升压倍数电荷泵电路及其制造方法
本发明是MEMS开关用高升压倍数电荷泵电路,其结构是第二Trench结构的版图、第三Trench结构的版图分别包围第一Trench结构的版图,SOI晶片从上到下为顶层硅,二氧化硅层,高阻载片;在SOI晶片的顶层硅上进行T...
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