2024年11月14日
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刘金虎
作品数:
26
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
电气工程
文化科学
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合作作者
李超波
中国科学院微电子研究所
解婧
中国科学院微电子研究所
范涛
中国科学院微电子研究所
郜晨希
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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研究领域
解婧
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
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范涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:芯片 CMOS带隙基准电压源 基准电压源 参考电压源 键合
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供职机构
所获资助
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郜晨希
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压力传感器 真空规 膜片 电极 金属电极
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研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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梁永锋
供职机构:北京科技大学
研究主题:高硅钢 TIAL合金 冷轧 合金 全片层组织
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林均品
供职机构:北京科技大学
研究主题:TIAL合金 高硅钢 合金 金属间化合物 高铌TIAL合金
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杨进
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:旋涂 畅通 密封性 漏气 镀银
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相关人物
供职机构
所获资助
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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研究领域
屈芙蓉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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