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刘金虎

作品数:26 被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术金属学及工艺电气工程文化科学更多>>

领域

  • 17个一般工业技术
  • 15个电子电信
  • 14个理学
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  • 12个电气工程
  • 12个自动化与计算...
  • 11个金属学及工艺
  • 7个机械工程
  • 7个文化科学
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  • 1个经济管理
  • 1个轻工技术与工...

主题

  • 17个等离子
  • 16个金属
  • 15个等离子体
  • 15个刻蚀
  • 13个电极
  • 12个电流
  • 11个等离子体浸没...
  • 11个电路
  • 10个单晶
  • 10个等离子体刻蚀
  • 10个原子层沉积
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  • 9个电池
  • 9个多晶
  • 8个单晶硅
  • 8个电场
  • 7个单晶硅片
  • 7个氮化
  • 7个等离子体处理
  • 6个氮化镓

机构

  • 16个中国科学院微...
  • 7个北京科技大学
  • 2个浙江大学
  • 2个中国科学院
  • 2个嘉兴科民电子...
  • 1个兰州大学
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  • 1个上海交通大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中航工业北京...
  • 1个北京廊桥表面...
  • 1个中国科学院嘉...
  • 1个北京中联科伟...
  • 1个北京联合涂层...

资助

  • 14个国家自然科学...
  • 13个国家科技重大...
  • 9个国家重点基础...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个中国科学院科...
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传媒

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  • 5个物理学报
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地区

  • 19个北京市
  • 1个上海市
20 条 记 录,以下是 1-10
李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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解婧
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
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范涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:芯片 CMOS带隙基准电压源 基准电压源 参考电压源 键合
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郜晨希
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压力传感器 真空规 膜片 电极 金属电极
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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梁永锋
供职机构:北京科技大学
研究主题:高硅钢 TIAL合金 冷轧 合金 全片层组织
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林均品
供职机构:北京科技大学
研究主题:TIAL合金 高硅钢 合金 金属间化合物 高铌TIAL合金
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杨进
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:旋涂 畅通 密封性 漏气 镀银
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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屈芙蓉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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