2025年1月8日
星期三
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马斌
作品数:
16
被引量:20
H指数:3
供职机构:
华中科技大学
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国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘胜
韦恩州立大学
张鸿海
华中科技大学机械科学与工程学院...
汪学方
华中科技大学机械科学与工程学院...
王志勇
华中科技大学机械科学与工程学院...
甘志银
华中科技大学微系统研究中心
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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研究领域
刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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汪学方
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
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王志勇
供职机构:华中科技大学
研究主题:移动台 测量系统 封装测试 共面 冷光源
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研究领域
甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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范细秋
供职机构:浙江海洋学院
研究主题:MEMS 热压印 扫描探针显微镜 纳米压印光刻 纳米级
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贾可
供职机构:华中科技大学
研究主题:分子动力学 纳米压印 MEMS 纳米压印光刻 超疏水表面
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贺德建
供职机构:华中科技大学
研究主题:工作台 刻蚀 模压 动态加载 数控工作台
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陈志凌
供职机构:华中科技大学
研究主题:衬里 激光化学 激光窗口 活动盖板 接线柱
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胡晓峰
供职机构:华中科技大学
研究主题:纳米压印光刻 热压印 刻蚀 模压 微透镜阵列
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