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高超群

作品数：43 被引量：23H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

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地区

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共 18 条 记 录，以下是 1-10
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘茂哲
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：静电 微机电系统 压室 半导体制冷 光谱分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘瑞文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尚海平
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：压力传感器 衬底 压阻 非制冷红外成像 平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
惠瑜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 反应气体 二氧化碳超临界流体 二氧化碳 流量控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李全宝
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电磁驱动 微机电系统 平面线圈 射频微机电系统开关 传输线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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