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朱鸣
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10
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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电子电信
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
林青
中国科学院上海微系统与信息技术...
张正选
中国科学院上海微系统与信息技术...
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
谢欣云
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
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张正选
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 总剂量辐射效应 MOS器件 绝缘体上硅 总剂量效应
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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吴雁军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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谢欣云
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
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刘相华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 MOS器件 氧离子 EFFECTS
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安正华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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