2024年12月25日
星期三
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刘玉岭
作品数:
481
被引量:749
H指数:13
供职机构:
河北工业大学
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
檀柏梅
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
牛新环
河北工业大学电子信息工程学院
李薇薇
河北工业大学信息工程学院微电子...
周建伟
河北工业大学电子信息工程学院
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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所获资助
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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所获资助
研究领域
李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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所获资助
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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研究领域
王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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供职机构
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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张建新
供职机构:天津工业大学
研究主题:等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
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