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刘娟

作品数：30 被引量：19H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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冯伯儒
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林长星
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：太赫兹 高速通信 无线通信 高速无线通信 THZ
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓贤进
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：太赫兹 肖特基二极管 倍频器 GHZ 无线通信
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗德蓉
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴秋宇
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：高速通信 太赫兹 无线通信 黑障 无线收发系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘娟
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：太赫兹 并行化 光电导天线 光导开关 光导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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