公共文化服务平台

张锦: 作品数：139 被引量：234H指数：8; 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金西安工业大学校长基金更多>>; 相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

一种直线微动刀架: 本实用新型涉及一种直线微动刀架,包括基座和安装在基座上的三维刀架体，三维刀架体包括水平旋转机构、纵向摆动机构和纵向移动机构；水平旋转机构包括旋转体和角度调节机构，旋转体通过光孔设置在基座上，角度调节机构与旋转体相连可控制...; 阳志强郭忠达李宏李世杰张锦弥谦刘欢张宏普

一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法: 本发明涉及光学测量技术领域，具体涉及一种高精密光楔角度测量装置及其测量方法。本发明装置包括激光光源，激光光路上依次设置有光纤环行器和光纤准直器，光纤准直器与全反射镜之间设置有移动导轨，移动导轨上设置有被测光楔，所述光纤环...; 孙国斌郑刚周璇范亚婷蒋世磊张锦

采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术被引量：3: 2005年; 光学光刻技术在微细加工和集成电路(IC)制造中一直是主流技术。随着IC集成度的提高,要求越来越高的光刻分辨力,但光学光刻的分辨极限受光刻物镜数值孔径(NA)和曝光波长(λ)的限制。激光干涉光刻技术具有高分辨、大视场、无畸变、长焦深等特点,其分辨极限为λ/4,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等领域有广阔的应用前景。阐述了激光干涉光刻技术的基本原理。提出了一种采用梯形棱镜作为波前分割元件的激光干涉光刻方法。建立了相应的曝光系统,该系统可用于双光束、三光束、四光束和五光束等多光束和多曝光干涉光刻。给出了具有点尺寸约220nm的周期图形阵列的实验结果。; 冯伯儒张锦刘娟; 关键词：激光干涉光刻光刻技术微细加工

一种具备高可见光活性的负载型TiO2光催化材料及其制备方法: 一种具备高可见光活性的负载型TiO<Sub>2</Sub>光催化材料及其制备方法，其特点是使用TiO<Sub>2</Sub>溶胶制备过程产生的有机物作为碳源，经过一定的热处理过程即可获得。本发明原料来源广泛，操作简单，成...; 淡宜杨海刚江龙张锦宋远卿曹绍强张见玲徐守斌

用相干激光束曝光孔点阵列图形的几种方法: 2005年; 将涂有光致抗蚀剂的硅片或其它光敏材料置于由多束相干光以某种方式组合构成的干涉场中,可以在大视场和深曝光场内形成孔、点或锥阵周期图形,光学系统简单廉价,不需掩模和高精度大NA光刻物镜,采用现行抗蚀剂工艺。文中介绍的双光束双曝光法得到的阵列图形周期d的极限为dm i n=λ/2,四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍,三光束单曝光得到2/3 d周期的图形,并且图形不受基片在曝光场中位置的影响,适合大面积尺寸器件中周期图形的制作,而三光束双曝光和五光束曝光的结果是周期为2d的阵列图形,并且沿光轴方向光场随空间位置也作周期变化,适合在大纵深尺寸范围内调制物体结构。; 张锦冯伯儒郭永康刘娟; 关键词：激光干涉光刻无掩模光刻技术

一种新型吡咯并吡咯二酮-咔唑共聚物的光吸收拓宽特性研究: 宽光谱吸收材料作为光催化材料的一个关键组分,对提高太阳光能向化学能、电能转化的效率起着重要的作用。本课题旨在研究含叔丁氧羰基保护官能团的不同分子量的吡咯并吡咯二酮-咔唑共聚物的光谱拓宽效应。研究发现,在氯苯溶液中,随着温...; 杨龙余育晏李佳荣张锦江龙淡宜; 关键词：咔唑温度

等离激元增强金属-硅组合微结构近红外吸收被引量：14: 2020年; 亚波长光栅结构的光学表面具有减反特性,这种特性在光电转换效率的应用方面具有重要意义。为了提高硅基光栅结构在近红外波段(0.78~2.50μm)的吸收率,采用在硅表面光栅空隙处加入金属Ag纳米颗粒和Al2O3介质层的方法,利用FDTD软件仿真研究不同的组合结构及颗粒的直径对光吸收率的影响,分析不同的工作波长下组合结构中特征截面的光强分布。实验结果表明,当光栅线/间比为1∶1、周期为1μm、周期凹槽内放置两层直径为0.25μm的金属Ag颗粒、且凹槽内金属颗粒上方填充覆盖Al2O3介质层时,该组合微结构在近红外波段范围内的平均吸收率理论上可达到0.463,实现吸收增强的效果。在光电转换器件的应用方面,金属颗粒-硅光栅-介质层组合微结构可以增强光吸收,进而提高光电转换效率。; 杨柳蒋世磊孙国斌杨鹏飞季雪淞张锦; 关键词：表面光学近红外吸收表面等离激元

衰减相移掩模光刻技术研究被引量：2: 1999年; 论述了衰减相移掩模光刻技术的原理和曝光实验研究，给出了光刻曝光实验部分结果。; 冯伯儒张锦侯德胜周崇喜陈芬; 关键词：衰减相移掩模

新型5×5分束相位型达曼光栅的设计被引量：3: 2022年; 基于夫琅禾费远场衍射理论和达曼(Dammann)光栅设计原理,利用液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性设计了产生5×5点阵结构光的相位型光栅。以显示二维Dammann光栅为例,采用模拟退火算法根据预期的光能利用率和光强不均匀性对光栅一个周期内的相位分布值进行优化,设计了5×5点阵Dammann光栅分束结构。然后利用Matlab进行远场衍射仿真,光能利用率可达到79.94%,光强不均匀性可达到13.28%。将光栅结构加载到LCSLM上,得到了光强不均匀性为27.53%、零级衍射光强均匀分布的5×5点阵,且光能利用率达到71.06%。数值模拟及光学实验结果证明了LCSLM可以在结构光再现光学系统中清晰地再现点阵结构光。与传统的结构光相比,设计的结构光在衍射距离发生变化的时候,其点与点之间的间距不发生改变。; 朱妍张锦蒋世磊孙国斌胡驰; 关键词：液晶空间光调制器

再现域模型相位补偿法提高液晶空间光调制器全息再现像质量研究: 2023年; 针对液晶空间光调制器(LC-SLM)全息再现结果受零级衍射光斑和本身黑栅效应影响,导致再现像光能利用率低和均匀性较差的问题,本文提出一种利用数字闪耀光栅对再现像进行偏离并结合全息再现域模型的相位补偿法,有效提高了再现像的均匀性。其主要原理为:在设计的相位全息图上加载一定周期的数字闪耀光栅后,根据再现区域的光强分布情况反推出补偿量,并将其和原物光波进行合成,重新计算相位全息图实现对再现结果的调整,在避免了零级衍射光斑影响的同时,提高了全息像的再现效果。通过对相位补偿量进行优化计算和仿真验证,并搭建全息再现光路,将补偿计算后的相位加载到空间光调制器(SLM)上进行再现实验验证和测试,实验结果表明,补偿后的再现像均匀性提高为原来的2倍,且光能利用率也有一定的提高。研究结果表明,本文所提出的再现域模型相位补偿法能有效提高SLM全息再现像的均匀性和光能利用率。因此该方法对基于SLM的全息再现或光场调控质量的提高具有一定的应用价值。; 胡驰张锦孙国斌蒋世磊刘严严; 关键词：全息液晶空间光调制器相位补偿

张锦

合作作者

文献类型

领域

主题

机构

作者

传媒

年份

用户反馈

张锦

合作作者

文献类型

领域

主题

机构

作者

传媒

年份

用户登录

用户反馈