2024年11月16日
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梁晓璐
作品数:
7
被引量:6
H指数:1
供职机构:
清华大学研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
清华大学自主科研计划
国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
理学
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合作作者
潘国顺
清华大学研究院
徐莉
清华大学研究院
罗桂海
清华大学研究院
邹春莉
清华大学研究院
汪嘉澍
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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所获资助
研究领域
徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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供职机构
所获资助
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汪嘉澍
供职机构:清华大学研究院
研究主题:质子交换膜燃料电池 膜电极组件 膜电极 转印 催化剂
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相关人物
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所获资助
研究领域
邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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罗海梅
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 衬底材料 超光滑表面 氧化性
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陈高攀
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
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