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5 条 记 录,以下是 1-5
林心如
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:闪耀光栅 光栅光谱仪 介质薄膜 热堆 探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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