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孙静

作品数：3 被引量：5H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：河北省自然科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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