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张广庆

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS器件 硅 CMOS
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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