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郝惠娟

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：山东大学控制科学与工程学院电子束研究所更多>>
发文基金：山东省自然科学基金山东省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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山东大学控制科学与工程学院电子束研究所
研究主题：电子束 电子束光刻 抗蚀剂 MONTE CARLO模拟
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