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张玢

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：江苏省科技支撑计划项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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