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林波

作品数：5 被引量：18H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术建筑科学更多>>

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河北工业大学信息工程学院
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息学院
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