2025年1月9日
星期四
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万军
作品数:
43
被引量:34
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国博士后科学基金
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
电子电信
化学工程
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合作作者
李超波
浙江大学电气工程学院
陈波
浙江大学电气工程学院
夏洋
中国科学院微电子研究所
石莎莉
中国科学院微电子研究所
饶志鹏
浙江大学电气工程学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
共
5
条 记 录,以下是 1-5
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院
研究主题:催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
浙江大学电气工程学院
研究主题:电力系统 电力市场 配电网 控制策略 永磁同步电机
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
嘉兴科民电子设备技术有限公司
研究主题:原子层沉积 太阳能电池 ALD 等离子体增强 腔体
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
研究主题:化学吸附 原子层沉积 晶圆 等离子体 氮化碳薄膜
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相关机构
所获资助
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