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闫辰奇

作品数：20 被引量：34H指数：4
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

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河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 卷积神经网络 抛光液
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河北工业大学
研究主题：数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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