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田建来

作品数:4 被引量:6H指数:1
供职机构:河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金:河北省科学技术研究与发展计划项目更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
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