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吴德馨

作品数：128 被引量：184H指数：8
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院
研究主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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中国科学院半导体研究所
研究主题：激光器 半导体激光器 衬底 半导体 波导
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中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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