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张志甜

作品数：48 被引量：13H指数：2
供职机构：清华大学研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

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清华大学研究院
研究主题：抛光 存储介质 化学机械抛光 基底 抗菌
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：故障诊断 微机电系统 MEMS 传感器 有限元
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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