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刘茂哲

作品数：17 被引量：17H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺机械工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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