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张仲仪

作品数：49 被引量：58H指数：4
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：环境科学与工程化学工程电子电信经济管理更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 外延层 芯片 金属 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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