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周闵新

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：教育部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微系统
  • 1篇CMOS
  • 1篇CMOS工艺
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感

机构

  • 1篇教育部

作者

  • 1篇黄庆安
  • 1篇秦明
  • 1篇周闵新

传媒

  • 1篇第八届敏感元...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CMOS集成电容绝对压力传感微系统的模拟与设计
微电子机械系统(MEMS)或微系统(MICROSYSTEM)成为继集成电路设计之后微电子领域新的发展方向.传感器作为外界与内部处理电路的接口,已经成为微系统的重要组成部分.将传感器部分和集成电路(IC)集成于同一芯片之中...
周闵新黄庆安秦明
关键词：MEMSCMOS工艺
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