黄庆安
- 作品数：918 被引量：855H指数：13
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 压阻式微波功率传感器及其微波功率传感方法
- 压阻式微波功率传感器是利用终端电阻吸收微波功率发热产生薄膜应力，以压敏电阻的方式测得输入微波功率的结构，该传感器以Si衬底(1)为衬底，Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>/SiO<Sub>2</Sub...
- 黄庆安韩磊廖小平
- 文献传递
- 电容式相对湿度传感器
- 电容式相对湿度传感器由衬底，氧化层，电容电极，湿度敏感介质组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上，电容电极由压焊块引出，湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方，腐蚀衬底及其上方的氧化层，形成空腔，使得电容电极之...
- 赵成龙黄庆安秦明
- 文献传递
- P型硅纳米板压阻特性的理论研究被引量：2
- 2008年
- 考虑量子尺寸效应与自旋轨道耦合作用,从含有应变的6×6 Luttinger-Kohn哈密顿量出发,采用有限差分方法建立了p型硅纳米板的能带结构模型.基于硅纳米板压阻特性与其能带结构的相关性,采用改进的压阻理论定量分析了厚度、杂质浓度与温度对其压阻系数的影响.研究结果表明:量子尺寸效应强烈改变了硅纳米板的能带结构,是其压阻系数增大的主要因素,而自旋轨道耦合作用仅对含较高应变的硅纳米板的能带结构有较大影响;硅纳米板的压阻系数具有尺寸效应,随厚度减小而增大,随杂质浓度增加或温度升高而减小.在高简并条件下,硅纳米板的压阻系数与温度无关,完全由杂质浓度的大小控制;在非简并条件下,情况刚好相反.最后,利用施加应力前后空穴等能面形状的变化定性分析了硅纳米板压阻特性的起源.
- 张加宏黄庆安于虹雷双瑛
- 关键词：硅压阻特性尺寸效应自旋轨道耦合
- 硅片键合强度的测量方法
- 硅片键合强度的测量方法，它涉及的是材料键合强度测量的技术领域。它的测量步骤是：分别测量键合硅片1中晶片1－1的厚度t<Sub>w1</Sub>、晶片1－2的厚度t<Sub>w2</Sub>001；把刀片2匀速插入1－1与...
- 孙立宁陈立国黄庆安陈涛
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- 电容式相对湿度传感器
- 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器，由衬底，氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有电极引线，该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，在电容电极上设有钝化...
- 顾磊黄庆安秦明张中平
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- 静电执行的MEMS多层膜材料参数在线提取方法被引量：8
- 2004年
- 基于静电执行结构 ,结合能量法 ,推导出不等宽多层两端固支梁在静电作用下发生吸合 (pull- in)现象时吸合电压的解析表达式 ,并用数值方法进行了拟合修正 ,用 Coventorware软件进行的模拟表明所得拟合表达式具有较高的精度 .由于吸合电压与梁的材料参数和几何尺寸有关 ,通过改变梁的几何尺寸可以得到不同的吸合电压值 ,从而得到梁各层材料的参数 。
- 聂萌黄庆安王建华戎华李伟华
- 关键词：吸合
- CMOS工艺兼容的相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温...
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 文献传递
- 一种快速响应的CMOS相对湿度传感器
- 一种快速响应的CMOS相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容电极，湿度敏感介质组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上，电容电极由压焊块引出，湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方，腐蚀衬底及其上方的氧化层，形成空...
- 赵成龙黄庆安秦明
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- 一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统
- 本发明涉及一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，所述系统包括衬底、第一微机械结构、第二微机械结构以及第三微机械结构、第一可调耦合结构、第二可调耦合结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路DB。第一微机械结构、第二微机械结构...
- 王立峰张尚洋张曼娜黄庆安董蕾
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- 多层梁结构的电容式微机械温度传感器
- 多层梁结构电容式温度传感器，由电容极板和连接电容极板的引线组成，采用微机械加工方法制备，该传感器由上电容极板(1)和下电容极板(2)及连接电容极板的第一引线(3)和第二引线(4)组成，上电容极板(1)和下电容极板(2)为...
- 黄庆安陆婷婷秦明
- 文献传递
