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张广庆

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式湿度传...
  • 1篇亚胺
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇后处理
  • 1篇后处理工艺
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇赵成龙
  • 1篇秦明
  • 1篇张广庆

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究被引量：7
2011年
利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响,结果显示:聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm,采用阶梯升温加热法,并以250℃作为最高固化温度时,测量结果表明该湿度传感器具有优异的敏感性能。
张广庆赵成龙秦明
关键词：聚酰亚胺湿度传感器后处理工艺
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