李亮
- 作品数：8 被引量：9H指数：2
- 供职机构：辽宁工业大学理学院更多>>
- 发文基金：辽宁省科学技术计划项目中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺文化科学更多>>
- 镁合金AZ91D半固态浆料暂态流变行为理论初探被引量：3
- 2016年
- 应用半固态金属浆料微结构模型研究镁合金AZ91D类液态半固态浆料的暂态流变行为,发现镁合金AZ91D半固态浆料暂态流变行为与其微结构具有较强关联,浆料触变性的微观根源在于聚集体的解聚速度远大于聚集速度。同时针对滞回环进行理论计算,结果表明:半固态AZ91D的触变性随最大剪切率和浆料静置时间增大而增大,随原初剪切速率和剪切速率上升时间及下降时间的增大而减小。
- 李亮郑冕
- 关键词：半固态流变学触变性
- 影响惠斯通电桥灵敏度的几个因素被引量：1
- 2018年
- 通过求解基尔霍夫方程组得出惠斯通电桥灵敏度与电桥相关参量之间的理论关系,并用实验方法研究这种电桥灵敏度随相关参量的变化关系。理论和实验结果都表明,电桥灵敏度随电源电压线性增加,随检流计量程增大而增大,随比率臂上电阻阻值增加而减小,理论结果和实验结果符合较好。此外检流计内阻和电桥比率也对灵敏度有较大影响。
- 郑冕李亮
- 关键词：惠斯通电桥灵敏度电阻
- 兆声化学机械复合抛光及其抛光均匀性的实现被引量：1
- 2017年
- 在匹配层结构压电换能器的基础上,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,在横向尺度上实现了兆声抛光工具头振动振幅的均匀化,进而开展了有/无兆声作用下硅片的化学机械抛光实验.抛光后,无兆声作用硅片的表面粗糙度Ra均值达到0.072μm,兆声作用硅片的表面粗糙度Ra均值达到0.020μm.测量了被抛光硅片的平面度,相对于无兆声作用硅片的平面度的PV值28μm,兆声作用硅片PV值显著下降,为21μm.可见,相对于传统化学机械抛光,兆声化学机械复合抛光能够有效地改善原有抛光工艺,提高硅片抛光表面质量,实现其抛光均匀性.
- 翟科任奕李亮何勍
- 关键词：化学机械抛光硅片均匀性
- 小振幅兆声对硅片化学机械抛光效果的影响被引量：3
- 2018年
- 为了改善硅片化学机械抛光效果,提高硅片表面质量,一小振幅兆声振子引入化学机械抛光系统,通过对比表面粗糙度大小和分布,发现该振子对改善硅片化学机械抛光效果有明显促进作用。测试表明:振子频率为1.7 MHz,中心最大振幅约为70 nm;硅片表面振动频率为1.7 MHz,中心最大振幅小于10 nm;该振子独立抛光时,未发现硅片表面粗糙度明显降低,但它能引起抛光液微流动,使储存在抛光垫窠室中更多的抛光液进入接触区参与抛光。无振动抛光时,硅片中心区域抛光液供给不足,造成该区抛光效果较差;兆声致微流动能有效缓解这种不足,改善硅片中心区域抛光效果,不仅如此,它还能有效降低其他区域的表面粗糙度。与无振动抛光的硅片相比,经过兆声辅助抛光的硅片,表面粗糙度更小,分布更均匀。
- 李亮何勍郑冕任奕李小龙
- 关键词：压电振子化学机械抛光硅片表面粗糙度
- 浅谈如何在大学物理实验教学中培养学生的科研能力被引量：1
- 2017年
- 大学物理实验是大学阶段普通物理教学的重要组成部分,是培养学生科研能力的启步平台,是学生后续学习和发展的坚实基础。本文详细论证了学生自学能力、设计能力、科学分析能力、团队精神及科学素养对培养学生科研能力的必要性;同时分析了在大学物理实验教学中从这几方面提高学生科研能力的可行性,并且结合多年的第一线教学经验提出了具体方法。
- 郑冕李亮
- 关键词：大学物理
- 抛光液在兆声振动作用下的流动特性仿真
- 2019年
- 为研究兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流体的影响。采用理论分析方法,研究兆声振动在抛光液中产生的声辐射压力,利用有限元分析,建立抛光过程中抛光垫单孔隙、抛光液层、声源等简化模型,研究兆声振动作用到抛光液中后抛光液的运动变化。结果表明兆声振动能够对抛光液产生声辐射压力,其值大小与声压、流体密度、声速有关。有限元仿真分析表明,兆声振动能够使抛光垫孔隙内抛光液的流速加快,促进孔隙内外的抛光液进行交换。使得闲置在抛光垫孔隙内的部分抛光液流出,而部分携带残屑的抛光液则会流入到孔隙内。
- 李小龙何勍李亮
- 关键词：抛光液流动特性有限元分析
- 兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流动的影响被引量：1
- 2019年
- 为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴向振幅,再观察兆声致抛光液流动现象,最后对抛光头中声场和兆声致流场进行理论分析。利用流体力学理论分析讨论兆声致抛光液流动的机理。测试结果表明:抛光头工作表面振动频率为1. 7 MHz,振幅沿径向减小并伴有振荡,中心处最大振幅接近70 nm,这与计算结果基本一致。兆声致抛光液流动实验表明:兆声能有效激励抛光液使其从抛光垫微孔中涌出,涌出量逐渐增大,但流量逐渐减小,渐近至零。这一结果可由兆声致流场给出解释:兆声振子表面轴向振幅被贝赛尔函数调制,这种振动沿轴向传至抛光液,产生随坐标和时间变化的流场;流量随时间的涨落和不同区域间的流量差,造成抛光液在抛光垫微孔间交互流动。可见,这种兆声致抛光液流动,能有效提高抛光液利用率、改善抛光效果。
- 李亮李亮任奕何勍
- 关键词：振子化学机械抛光抛光液硅片粗糙度
- 非线性保守摆的研究
- 2019年
- 文章采用Jacobi椭圆函数描述保守摆动系统的非线性运动学方程,研究了非线性摆的角位移随时间及振幅的变化,计算了不同振幅对应的振动周期,并同实验结果进行比较,发现理论值和实验值符一致。同时用大振幅摆的周期间接测量了重力加速度,测量结果与重力加速度的精确结果 9.8m/s^2符合得很好。
- 郑冕李亮
- 关键词：非线性复摆重力加速度
