刘志超
- 作品数：42 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 光学元件加工装置及加工方法
- 本发明实施例提供一种光学元件加工装置及加工方法，该装置包括加工真空腔室以及多个团簇离子束产生装置，加工真空腔室内设置有用于放置待加工光学元件的运动台，各团簇离子束产生装置设置在加工真空腔室顶部，并连接在加工真空腔室的开口...
- 许乔李亚国金会良王度袁志刚刘志超耿锋欧阳升张清华王健
- 文献传递
- 渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片
- 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层...
- 卫耀伟刘浩蔡清元王震潘峰张哲刘志超吴倩罗晋欧阳升
- 激光抛光设备及方法
- 本发明涉及激光抛光技术领域，具体涉及一种激光抛光设备及方法，设备包括：第一激光器，用于发出第一激光光束并通过扫描器投射至放置于加工平移台的待加工工件以形成加工区域；高温计，用于采集加工区域的温度数据；第二激光器，用于发出...
- 李亚国王度许乔袁志刚刘志超耿锋金会良欧阳升张清华王健
- 文献传递
- 一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统
- 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数...
- 王震张清华吴倩罗晋卫耀伟潘峰唐明刘志超郑轶李树刚张哲欧阳升汤鹏
- 文献传递
- 大口径氘化磷酸二氢钾晶体离线亚纳秒激光预处理技术被引量：3
- 2021年
- 大口径氘化磷酸二氢钾(DKDP)晶体抗激光损伤性能偏低严重地制约着大型高功率激光装置输出水平.本研究利用离线亚纳秒激光预处理技术有效地提升了大口径DKDP晶体抗激光损伤性能.实际使用情况表明,采用离线亚纳秒激光预处理后,DKDP晶体在9 J/cm^(2)激光通量辐照下的表面平均损伤密度得到大幅下降,由未处理前的5.02 pp/cm^(2)(1pp表示1个百分点)降至0.55 pp/cm^(2),降幅为一个数量级.同时,激光预处理对晶体损伤尺寸具有一定的抑制作用,预处理后晶体损伤点尺寸分布曲线向尺寸减小的方向平移,尺寸分布峰值由预处理前的25μm降至预处理后的18—20μm.
- 刘志超许乔雷向阳耿锋王翔峰张帅王健张清华刘民才
- 关键词：激光诱导损伤高功率激光器
- 1064nm激光预处理对HfO_2/SiO_2反射膜损伤形态转化影响研究被引量：7
- 2017年
- 实验研究了不同激光预处理参数对于纳秒激光多脉冲作用下HfO_2/SiO_2反射膜损伤形态转化的影响。通过对比两类损伤扩张性和对薄膜功能性破坏机制,提出激光预处理技术的重要意义在于抑制损伤形态转化过程。通过薄膜损伤形态分析揭示了激光预处理作用机制为节瘤缺陷的去除和亚表面吸收前驱体的形成两方面的综合作用。实验结果表明:预处理后薄膜损伤形态转化特征曲线向更高通量和更多发次方向平移。针对现有工艺下的薄膜,采用高通量、两台阶的预处理参数组合能够获得兼顾效率的最佳收益,其零几率损伤形态转化阈值最高可以提升140%。
- 刘志超郑轶潘峰王震王健许乔
- 关键词：激光预处理
- 工件表面损伤修复方法及系统
- 本申请提供一种工件表面损伤修复方法及系统，涉及光学元件加工技术领域。所述方法包括：将激光聚焦到待修复工件表面；将聚焦激光的光斑在待修复工件表面移动以扫描整个待修复工件表面，以使激光能量作用于待修复工件表面使待修复工件表面...
- 金会良李亚国许乔刘志超袁志刚欧阳升王度耿锋张清华王健
- 文献传递
- 一种光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法
- 本申请提供一种光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法，涉及光学加工技术领域。该光学晶体表层物理结构缺陷的评价方法包括：对光学晶体的表层进行全局缺陷扫描，以获取全局缺陷分布图；根据全局缺陷分布图确定关注缺陷的位置；对关注缺陷进...
- 樊非卓瑾金会良潘峰朱玉洁邓雪然耿锋刘志超
- 激光抛光设备及方法
- 本发明涉及激光抛光技术领域，具体涉及一种激光抛光设备及方法，设备包括：第一激光器，用于发出第一激光光束并通过扫描器投射至放置于加工平移台的待加工工件以形成加工区域；高温计，用于采集加工区域的温度数据；第二激光器，用于发出...
- 李亚国王度许乔袁志刚刘志超耿锋金会良欧阳升张清华王健
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- 光学元件面形修正方法及装置
- 本发明实施例提供一种光学元件面形修正方法及装置，该装置包括多个团簇离子束产生装置，各所述团簇离子束产生装置的输入口与提供不同源气的源气供给单元连接。通过利用集成了多个团簇离子束产生装置的加工装置，在待加工光学元件的不同的...
- 李亚国许乔金会良刘志超耿锋袁志刚王度欧阳升张清华王健
- 文献传递
