王健
- 作品数:367 被引量:222H指数:8
- 供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:金属学及工艺自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 抛光摩擦力的测量装置
- 本实用新型提供一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。抛光摩擦力的测量装置,包括多个应力测试部件,所述应力测试部件包括U形夹板,在所述U形夹板上设置有应力传感器,在所述应力传感器上设置有信号传输线和承载接触块,...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰周炼钟波陈贤华王健许乔
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- 晶体板条元件超声清洗的装夹装置
- 本发明提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置,包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架,在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁,所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转,在所述横梁上设置有V形槽口,在所...
- 田亮赵世杰谢瑞清廖德锋袁志刚陈贤华周炼钟波徐曦金会良邓文辉王健
- 子口径抛光的等高线路径规划方法
- 本发明提供一种子口径抛光的等高线路径规划方法,通过该方法规划的等高线路径有利于抑制由于卷积效应引起的残留误差。子口径抛光的等高线路径规划方法,该方法包括以下步骤:1)获取初始面形误差分布数据;2)计算离散的材料去除量数列...
- 廖德锋钟波赵世杰谢瑞清陈贤华王健许乔
- 薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质
- 本申请提供涉及一种薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质,涉及薄膜品质控制领域。上述薄膜品质检测方法包括:根据薄膜样品的物理数学模型和所述薄膜样品经椭偏检测获得的椭偏检测曲线,以薄膜材料的本征折射率色散表达式为特征参...
- 胡建平刘民才王震吴倩张飞卫耀伟王健
- 文献传递
- 高精度离轴非球面透镜的制造与检测被引量:10
- 2018年
- 针对强激光系统所需大口径非球面元件高精度、批量化的加工需求,提出了一种气囊抛光技术与柔性沥青小工具抛光技术相结合的大口径非球面元件高效制造方法。采用气囊抛光技术进行非球面保形抛光和快速修正抛光,实现磨削缺陷层快速去除以及低频误差快速修正。采用柔性沥青工具匀滑抛光技术,在低频误差不被恶化的情况下,控制元件中高频误差。在抛光过程中,利用球面干涉仪搭建的自准直波前干涉检测系统和粗糙度仪对非球面元件进行全频段误差检测。基于上述加工与检测方法完成了430 mm×430 mm口径离轴非球面透镜样件实验加工,实验结果为元件通光口径内透射波前PV=0.1λ,GRMS=5.7 nm/cm,PSD1 RMS=1.76 nm,PSD2 RMS=1 nm,Rq=0.61 nm,并且中频段功率谱密度曲线均在要求的评判曲线之下。实验结果表明,离轴非球面透镜样件全频段指标均达到了合格指标要求。所述制造方法也适用于其他类型大口径非球面光学元件的高精度加工。
- 钟波陈贤华陈贤华王健石琦凯石琦凯
- 关键词:气囊抛光
- 爆轰加载下金属缝隙射流定量诊断实验研究
- 爆轰加载下金属飞片缝隙处会有射流产生,采用实验方法对该喷射射流进行了光学观测和(半)定量测量,初步获得了金属射流喷射特性和喷射质量随飞片材料、加载压力、缝隙宽度以及加载方式等的变化规律,通过实验数据分析拟合,初步给出了射...
- 童慧峰李庆忠谷岩张振涛管永红孙学林王健谷新蓉
- 关键词:金属材料
- 抛光液循环过滤系统
- 本发明涉及抛光液循环过滤系统,其搭载于抛光机床上,包括:储液装置,储液装置为倒置布置的锥形桶,锥形桶上部为出液侧,其下部为回液侧;第一供液装置和第二供液装置,第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧;第...
- 钟波陈贤华邓文辉张清华王健郑楠
- 一种光学元件子口径抛光夹具
- 本发明公开了一种光学元件子口径抛光夹具,涉及精密加工领域。该夹具包括二维调平台、支撑板、多个弧形延拓挡板以及定位挡块。其中,支撑板设置于二维调平台,用于放置光学元件,多个弧形延拓挡板紧挨支撑板的外侧壁设置,且依次首尾连接...
- 钟波陈贤华郑楠李洁张清华王健文中江
- 光学元件制备方法和激光干燥处理系统
- 本发明提供的光学元件制备方法和激光干燥处理系统,涉及激光技术领域。其中,所述光学元件制备方法包括:制备溶胶‑凝胶;提供一熔石英基底,并通过所述溶胶‑凝胶在所述熔石英基底的一表面制作形成一光学膜层;通过激光对所述光学膜层进...
- 欧阳升惠浩浩李亚国许乔袁志刚王度刘志超耿锋金会良王健张清华
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- 抛光盘及抛光系统
- 本申请提供了抛光盘及抛光系统,涉及光学元件精密加工技术领域。一种抛光盘,抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔,抛光盘的抛光面开设有出液口,出液口通过设置于抛光盘内部的通道与储存腔连通。该抛光盘的储存腔内储存有抛光液,在...
- 侯晶许乔刘世伟陈贤华王健李洁钟波
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