康强
- 作品数:11 被引量:18H指数:3
- 供职机构:中北大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
- 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器,具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构,包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、...
- 石云波刘俊曹慧亮任建军唐军马宗敏黄堃康强冯恒振寇志伟连树仁孙亚楠韩兴宇
- 文献传递
- 高g微机械加速度传感器芯片盖帽封装设计
- 2018年
- 为了提高高g微机械加速度传感器在极端恶劣环境中应用的可靠性,根据自制的高g微机械加速度传感器芯片,研究设计了一种新型"台阶式"传感器芯片的盖帽封装结构。利用圆片级键合工艺和有限元分析(FEA)方法确定了盖帽封装结构材料与尺寸的设计方案。优化微电子机械系统(MEMS)加工工艺流程完成对盖帽封装结构的加工,并通过数字电子拉力机对实现圆片级盖帽封装的传感器芯片进行键合强度测试。测试结果表明,键合强度为35 000 kPa,远大于抗过载封装设计要求下的键合强度值(401.2 kPa),证明了盖帽封装结构设计的可行性和可靠性。
- 康强石云波杨志才赵永琪许鑫王彦林焦静静
- 关键词:微机械圆片级键合强度
- 一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺,具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺,包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分;所述谐振子...
- 刘俊寇志伟曹慧亮石云波黄堃唐军冯恒振连树仁任建军康强
- 文献传递
- 灌封胶对高量程微机械加速度计封装的影响被引量:4
- 2017年
- 封装是高量程微机械加速度传感器高可靠性的重要保障,而灌封工艺是高量程微机械加速度传感器封装流程中一个非常重要的环节,对实现加速度传感器产业化具有重要的影响。根据一种自制的、量程为XX的压阻式高量程微机械加速度传感器的封装模式,利用有限元分析(FEA)方法建立加速度传感器的封装模型,基于FEA方法分析了灌封热应力及灌封工艺对加速度传感器性能的影响。分析结果表明:灌封胶的热膨胀系数和弹性模量是影响封装热应力的主要因素,而灌封胶的密度与封装热应力无关;灌封胶弹性模量及密度的变化对加速度传感器输出信号的影响很微弱,可以忽略不计。
- 康强石云波王艳阳冯恒振任建军
- 关键词:封装热应力
- 基于压阻式加速度计的金属掩膜层图形化
- 2017年
- 干法刻蚀是压阻式加速度传感器制备中的关键工艺,金属掩膜层的图形化对刻蚀结果尤为重要。金属掩膜层图形化的效果影响着压敏电阻条的刻蚀效果,进而影响传感器性能。利用磁控溅射在Si和SiC衬底上分别溅射金属Al和Ni作为金属掩膜层,并对二者的图形化效果进行对比,同时借助激光共聚焦扫描显微镜(CLSM)观察分析金属腐蚀速率、图形化后结构的形貌、线宽损失等参数。实验证明:对于小结构(线宽小于50μm)而言,金属Al由于致密性不好,图形化后的结构模糊不规则;金属Ni作为掩膜层图形化后的结构形貌清晰、形状规则、线宽损失小。
- 任建军石云波孙亚楠冯恒振康强
- 关键词:磁控溅射SIC
- 高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析被引量:7
- 2016年
- 总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定,得到了传感器的参考灵敏度。
- 王艳阳石云波王华康强杨志才
- 关键词:MEMS不确定度误差分析
- 一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺,具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构,包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状...
- 刘俊寇志伟曹慧亮石云波黄堃唐军连树仁冯恒振康强任建军
- 文献传递
- 双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
- 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器,具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构,包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、...
- 石云波刘俊曹慧亮任建军唐军马宗敏黄堃康强冯恒振寇志伟连树仁孙亚楠韩兴宇
- 高g值加速度动态线性测试冲击方法仿真分析研究被引量:6
- 2017年
- 高g值加速度传感器动态线性测试描述了传感器的输入、输出以及频率三者之间的关系,反映了在某一特定频率下传感器的线性特性。基于霍普金森杆校准系统动态线性测试的一个关键技术是通过实现内弹外弹两粒弹丸的同步撞击,以此来实现两子弹作用于杆上的冲击加速度脉冲的频率相同,实现加速度传感器动态线性测试。本文基于动态线性测试方法,对子弹的同步撞击方法与子弹形状进行了仿真与实验研究。结果表明:实验室无法实现内外弹的同速异步撞击;将用于动态线性测试的内外弹绑定和改变内外弹截面积对第1次压缩波基本没有影响;该结论为利用霍普金森杆做加速度传感器动态校准提供了理论基础和现实依据。
- 王艳阳石云波康强王华杨阳
- 关键词:高G值
- 一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺,具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构,包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状...
- 刘俊寇志伟曹慧亮石云波黄堃唐军连树仁冯恒振康强任建军
- 文献传递