任建军
- 作品数：14 被引量：55H指数：4
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- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法
- 本发明涉及压阻式加速度传感器，具体是一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法。本发明解决了现有压阻式加速度传感器在高温环境下使用时稳定性和可靠性差的问题。一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法，...
- 石云波刘俊孙亚楠唐军李杰赵锐曹慧亮黄堃高晋阳寇志伟任建军赵永祺赵思晗
- 文献传递
- 一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状...
- 刘俊寇志伟曹慧亮石云波黄堃唐军连树仁冯恒振康强任建军
- 文献传递
- 双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
- 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、...
- 石云波刘俊曹慧亮任建军唐军马宗敏黄堃康强冯恒振寇志伟连树仁孙亚楠韩兴宇
- 电容式加速度传感器设计及工艺加工被引量：13
- 2017年
- 针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g"三明治"电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析,并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪分析得到了传感器的静态电容为14.09 pF,结构输出灵敏度为0.281 8 pF/g,传感器的输出灵敏度为13.5μV/g。根据结构特性设计工艺流程并进行关键工艺加工:硅基质量块双面湿法腐蚀、ICP干法刻蚀及玻璃通孔电镀工艺。最终,通过实验验证电容式加速度传感器设计的可行性。
- 任建军石云波唐军冯恒振杜文略
- 关键词：电容式加速度传感器高过载湿法腐蚀电镀工艺灵敏度
- 双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
- 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、...
- 石云波刘俊曹慧亮任建军唐军马宗敏黄堃康强冯恒振寇志伟连树仁孙亚楠韩兴宇
- 文献传递
- 一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子...
- 刘俊寇志伟曹慧亮石云波黄堃唐军冯恒振连树仁任建军康强
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- MEMS环形振动陀螺结构设计与仿真分析被引量：10
- 2017年
- 针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式。在此基础上应用ANSYS有限元分析软件建立了该环形振动陀螺谐振结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析、瞬态冲击响应分析与静力分析。仿真分析结果显示该环形陀螺驱动与敏感模态固有频率的频差为33 Hz,工作模态的频率匹配性较好;工作模态与其他振动模态的最小频差为1 032 Hz,能够有效抵抗环境振动的干扰;谐振结构在10 000g的瞬态冲击作用下最大应力为39.5 MPa,可以正常稳定工作。
- 寇志伟曹慧亮刘俊冯恒振任建军连树仁
- 关键词：有限元分析模态分析
- 一种低横向效应的压阻式加速度传感器设计被引量：4
- 2018年
- 为了提高传感器的测试精度、抑制传统传感器的横向效应问题,通过改变压阻排布方式设计了一种低横向效应的压阻式加速度传感器。该传感器采用8电阻十字梁结构,电阻全部对称排布在应力变化的线性区,使传感器在满足高灵敏度的同时消除了横向效应。通过有限元仿真分析得出该传感器的灵敏度为0.297 4μV/g,横向灵敏度为零,对封装后的传感器进行了Hopkinson杆冲击测试,横向灵敏度只占工作轴向灵敏度的1.1%,远小于相同结构尺寸下传统四电阻传感器的20.7%,而工作轴向灵敏度基本相同。实验表明,该传感器具有较高的工作轴向灵敏度和极低的横向灵敏度。
- 赵思晗石云波赵永祺孙亚楠任建军李飞
- 关键词：压阻式加速度传感器灵敏度有限元仿真HOPKINSON杆
- 碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料被引量：6
- 2017年
- SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构。针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多种掩膜材料对SiC刻蚀的影响以及SiC与掩膜材料的选择比。实验证明,光刻胶作为掩膜,与SiC的选择比约为1.67,并且得到的台阶垂直度较差。Al与SiC的选择比约为7,但是致密性差,并且有微掩膜效应。金属Ni与SiC的选择比约为20,并且得到的台阶比较垂直且刻蚀形貌良好。最后,使用Ni作为掩膜材料对SiC压阻式加速度传感器的背腔和压敏电阻进行了电感耦合等离子体(ICP)刻蚀。
- 孙亚楠石云波王华任建军杨阳
- 关键词：选择比
- 基于热释电红外传感器的动作检测系统设计被引量：19
- 2017年
- 人体动作检测广泛应用于人机交互、智能安防、军事情报等领域,该文利用热释电红外传感器对人体红外辐射灵敏的感应,通过设计信号调理及采集电路,搭建实验平台对传感器输出信号进行采集分析,在时域和频域中进行运动特征的提取算法设计,实现人体运动形态的检测。该文以踏步过程中跳跃动作的提取为例,介绍了整个设计过程。该人体检测方法具有成本低,抗干扰能力强等优势,对人体检测领域研究有重要的参考价值。
- 冯恒振石云波秦丽连树仁任建军
- 关键词：热释电红外传感器采集电路抗干扰能力
