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洪波
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
朱小健
苏州大学物理科学与技术学院能源...
金成刚
苏州大学物理科学与技术学院能源...
吴雪梅
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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吴雪梅
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金成刚
1篇
朱小健
1篇
洪波
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1篇
微纳电子技术
年份
1篇
2009
共
1
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Cr掺杂SiC薄膜的制备与光致发光特性
被引量:2
2009年
利用高纯SiC烧结靶上粘贴金属Cr片的复合靶用双离子束溅射沉积方法,在Si和KBr单晶衬底上制备了掺杂SiC薄膜。用傅里叶变换红外光谱分析法(FTIR)和喇曼光谱仪对制得的薄膜样品进行了表征,用荧光分光光度计对样品的光致发光(PL)特性进行了研究。通过FTIR分析得到对应于Si―C键的峰位没有发生明显改变而峰强随着Cr掺杂量的增加而降低,喇曼光谱分析发现Cr掺杂导致Si和C团簇的形成,说明Cr的掺杂阻碍了Si―C键的结合。将不同Cr掺杂浓度的SiC薄膜经1000℃退火处理,发现位于413、451和469nm的三个发光峰的位置基本不变,但强度有明显改变。
朱小健
洪波
金成刚
吴雪梅
关键词:
光致发光
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