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石玉华

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇激光
  • 1篇激光等离子体
  • 1篇激光技术
  • 1篇光技术
  • 1篇光学
  • 1篇X射线
  • 1篇X射线光学
  • 1篇ZEMAX
  • 1篇CO2激光

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇卢彦兆
  • 1篇朱新旺
  • 1篇王新兵
  • 1篇石玉华

传媒

  • 1篇激光技术

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究被引量:2
2010年
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。
朱新旺王新兵傅焰峰卢彦兆石玉华
关键词:激光技术X射线光学激光等离子体ZEMAX
共1页<1>
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