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常建平
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
武汉理工大学测试中心
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合作作者
谢毅
武汉理工大学测试中心
陶光仪
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2006
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用X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO_2薄膜的组分和厚度
被引量:2
2006年
在X射线荧光(XRF)分析中应用基于基本参数法的FP-Multi软件,采用C固定道和Ti、Al、Si扫描道,以99.999%石墨及纯Al、Ti、SiO2四个块样做标样,对玻璃基材上含有C元素的TiO2薄膜厚度及成分进行了测试分析。薄膜厚度的测定结果还与用nkd干涉仪、扫描电镜断面分析等方法的测试结果做对比。证明X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO2薄膜厚度及成分是可行的。
常建平
谢毅
陶光仪
关键词:
X射线荧光光谱法
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